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原子尺度實時表征與調(diào)控助力自旋芯片和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展——2023年度中國儀器儀表學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎獲獎項目解讀

為了支撐集成電路產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，集成電路高端裝備制造已經(jīng)上升為國家戰(zhàn)略。破解集成電路產(chǎn)業(yè)“卡脖子”問題，一大關(guān)鍵是實現(xiàn)高端裝備制造的自主可控。